在紫外線輻射下，通過電子放射或暴曬從雙原子氧氣可自然形成臭氧。工業(yè)上，用干燥的空氣或氧氣，采用5~25kv的交流電壓進行無聲放電制取。另外，在低溫下電解稀硫酸，或將液體氧氣加熱都可制得臭氧。
臭氧是地球大氣中一種微量氣體，它是由于大氣中氧分子受太陽輻射分解成氧原子后，氧原子又與周圍的氧分子結合而形成的，含有3個氧原子。臭氧的半衰期僅為30-60min。由于它不穩(wěn)定、易分解，無法作為一般的產(chǎn)品貯存，因此需在現(xiàn)場制造。
臭氧老化箱產(chǎn)生臭氧的主要方法有：電解法、核輻射法、紫外線、等離子等幾種，即應用高能量交互式電流作用空氣中的氧氣使氧氣分子電離而成臭氧。（注：通過高壓電極把氧氣轉為臭氧的化學方程式是: 3O2==(高壓)2O3）。
臭氧老化箱使用電解系統(tǒng)生產(chǎn)臭氧的主要優(yōu)點是：
1、沒有離子污染；
2、待消毒處理的水是用來產(chǎn)生臭氧的原料，因此沒有來自系統(tǒng)外部的其他污染；
3、臭氧在處理過程中一生成就被溶解，即可以用較少的設備進行臭氧處理；
4、若在加壓條件下，可生產(chǎn)出較高濃度的臭氧。
